يختص هذا الجزء من المواصفة القياسية الدولية ISO 14952 بعمليات التنظيف الدقيقة للأجزاء والمكونات والأنظمة المستخدمة في تطبيقات الموائع الحرجة للطائرة. ويمكن استخدامها على المعدات من أجل معدات الدعم الأرضي ومركبات الإطلاق وسفينة الفضاء. يُعرف هذا الجزء من المواصفة القياسية الدولية ISO 14952 عمليات التنظيف الدقيقة والإجراءات التي يمكن استخدامها على الأجزاء أو المكونات المستخدمة في أنظمة الموائع وتسري بصورة متساوية على معدات الدعم الأرضي ومركبات الإطلاق وسفينة الفضاء.