تحدد هذه المواصفة القياسية الدولية طريقة لاختبار الشد للمواد ذات الطبقة الرقيقة الرفيعة ذات طول وعرض أقل من 1 ملم وسمك أقل من 10 ميكرومتر والتي تعد المواد الإنشائية الرئيسية للأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة والآلات الدقيقة والأجهزة المماثلة. ويكون للمواد الإنشائية الرئيسية للأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة والآلات الدقيقة والأجهزة المماثلة سمات خاصة مثل أبعاد نمطية من بضعة ميكرونات وتصنيع المواد عن طريق الترسيب وتصنيع قطعة الاختبار عن طريق الآلات غير الميكانيكية باستخدام التخريش وطباعة الصفائح الضوئية. وتحدد هذه المواصفة القياسية الدولية طريقة الاختبار تضمن الدقة المقابلة لهذه السمات الخاصة.