يحدد هذا الجزء من المواصفة القياسية IEC 62047 اختبار الانضغاط بالأعمدة الدقيقة لمواد الأنظمة الكهرميكانيكية الدقيقة MEMS بدقة عالية وإمكانية تكرار وجهد معتدل عند تصنيع العينة. وتقاس علاقة الإجهاد - التوتر الضاغطة ذات المحورين في العينة ويمكن الحصول على معامل انضغاط المرونة ومقاومة الخضوع. وتكون قطعة الاختبار عبارة عن عمود اسطواني مركبة على ركيزة جاسئة (أو شديدة الصلابة) من خلال تكنولوجيات متناهي الصغر، وينبغي أن تكون نسبة الأبعاد السطحية (نسبة قطر العمود إلى ارتفاعه) أكثر من 3. وتنطبق هذه المواصفة القياسية على المواد المعدنية وعلى مواد السيراميك والمواد البوليمرية.