توضح هذه المواصفة الفنية المصطلحات والتعريفات المرتبطة بعمليات التصنيع النانوية في مجال التقنيات النانوية؛ حيث أنها تشكل جزءً من توثيقات المصطلحات والتعريفات متعددة الأجزاء التي تغطي جوانب معينة من تقنيات النانو. ترتبط جميع المصطلحات الخاصة بهذه العملية، المذكورة في هذه الوثيقة، بعمليات التصنيع النانوية. لا ترتبط الكثير من العمليات المذكورة حصريًا بمقياس النانو. اعتمادًا على الظروف التي يمكن التحكم فيها، قد تؤدي هذه العمليات إلى وجود خصائص المادة بمقياس النانو، أو بمقياس أكبر. هناك الكثير من المصطلحات الأخرى التي تطلق اسماءً على الأدوات والمكونات والمواد وطرق أنظمة التحكم وطرق القياس المرتبطة بعملية التصنيع النانوية؛ لكنها خارج مجال هذه المواصفة.